真空箱按其工作室幾何形狀可分為立方體和圓柱體。真空箱的極限壓力一般為 -0.1MPa，常見的真空箱的壓力指示測量范圍一般為（-0.1～0）MPa，每0.02MPa 為一個標有數字的分度線。真空箱最高工作溫 度可分 為 150°C、200°C和 250°C，其 他溫 度等級由制造商與用戶協商確定。

根據不同最高工作溫度的真空箱，溫度偏差的技術要求略有不同：對于最高工作溫度≤ 200°C的真空箱，其最大允許誤差為±3°C；對于最高工作溫度﹥200°C的真空箱，其最大允許誤差為最高工作溫度的±1.5%。

不同最高工作溫度的真空箱，其溫度均勻度技術要求略有不同：對于最高工作溫度≤ 200°C的真空箱，溫度均勻度≤ 2°C；對于最高工作溫度﹥200°C的真空箱，溫度均勻度≤ 3°C。

不同最高工作溫度的真空箱，其溫度波動度技術要求為 ：對于最高工作溫度≤ 200°C的真空箱，溫度波動度≤1°C；對于最高工作溫度﹥200°C的真空箱，其溫度波動度限值為±1°C。

真空箱所配真空表一般為 2.5 級，真空表在各個測試點的最大允許誤差為±2.5%FS。如有其他等級真空表，可參照執行。這里需要說明的是，上述各個指標是國家標準中提及的對真空干燥箱生產上的要求 ；但實際計量工作中，對真空干燥箱采用的是校準，因此，以上指標在校準工作中僅作為參考。