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其滅菌機制是以飽和水蒸氣為介質進行滅菌，當高溫高壓的水蒸氣與微生物接觸時，會使微生物肽鏈斷裂，對酶結構造成不可逆的破壞，以達到徹底滅菌的目的。
其主要流程依次包括脈動、升溫、滅菌、排氣、干燥。在選擇織物程序的情況下，脈動時，真空泵首先將內室空氣抽出，使內室壓力下降至設定值，一般為—80kPa，隨后由夾層往內室充入飽和蒸汽至 +80kPa。以此往復 3 次，總時間在 15min 左右。脈動結束后進入升溫階段，再次往內室充入飽和蒸汽，使內室壓力與溫度緩慢上升至 215kPa、134℃，此階段正常時長為5min 左右。保持此壓力與溫度 5min，以達到對微生物的消殺目的。最后將內室蒸汽排出并再次抽空干燥，結束程序。
